氮氣流量是指氣體流動過程中，單位時間內通過任一截面的氣體量。流量有兩種方式來表示，即體積流量和質量流量。前者指通過管路任一截面的氣體體積，后者為通過的氣體質量，在氣體工業中一般均采用體積流量以m3/h(或L/H)為計量單位。因氣體體積與溫度、壓力和濕度有關，為便于比較通常所說的體積流量是指標準狀態(溫度為20℃，壓力為0.101Mpa，相對濕度為65%)而言，此時的流量以Nm3/h為單位，"N"即表示標準狀態。
空氣具有可壓縮性，經空氣壓縮機做機械功使本身體積縮小、壓力提高后的空氣叫壓縮空氣。壓縮空氣里含有很多雜質：1.水，包括水霧、水蒸氣、凝結水；2.油：包括油污、油蒸氣；3.各種固態物質如：銹泥、金屬粉末、橡膠粉末、焦油粒及濾材、密封材料的細末等；此外還有多種有害的化學異味物質等。壓縮空氣可以通過加壓、降溫、吸附等方法來除去其中的水蒸氣。可通過加熱、過濾、機械分離等方法除去液態水份。
吸附是氣體中一個或多個組分在多孔固體表面的選擇性濃縮，被吸附的組分稱作吸附介質，多孔固體稱為吸附劑。吸附劑與吸附介質的連接力是化學鍵，而吸附介質的解析靠升溫或降低該組分在氣壓中分壓。另一種情況是吸附組分與固體吸附劑去化學反應時，稱為化學吸附，化學吸附一般情況下不能再生。
膜滲透指在氣體凈化過程中聚合物分離氣體是基于一個或多個氣體組分從膜的一邊選擇性的滲透到另一邊。該組分溶解于聚合物膜的表面，并沿著膜傳遞形成一濃度差，保持此濃度差是靠膜一邊組分的分壓高于膜另一邊該組分的分壓。
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